Como remover plasma Etch Polímero

Quando um químico ou electricista quer para modificar as propriedades químicas e físicas da superfície de uma bolacha de circuito integrado , que é conhecido como o processamento de plasma . Uma forma deste processamento é chamado erosão por plasma , que utiliza uma descarga luminescente ( conhecido como plasma ) de um gás específico . A descarga é liberada como pulsos em um fluxo em alta velocidade diretamente em um circuito de amostra. A fonte de plasma , conhecido como espécies de corrosão , pode tomar uma de duas características - carregada, que são classificados como íons ou neutro , que é feito de átomos e radicais . Como processamento etch começa , a descarga a ser transmitido para o circuito irá criar resíduo de corrosão volátil como um resultado da reacção química entre o material gravado e as espécies de corrosão criada pelo plasma . As propriedades físicas e químicas do circuito , eventualmente, são alteradas como os átomos de o fluxo de plasma , ou anexar ao penetrar na superfície . Dependendo do gás que é usado para o fluxo de plasma , plasma etch polímero pode formar-se como um resíduo após os process.Things você precisa
circuitos integrados wafer
plasma etch removedor de polímero ( PRX - 127 )
pesados ​​luvas
máscara cirúrgica
óculos de proteção ou óculos de proteção
decapagem tanques
deionizada ( DI ) tanque de lavagem com água
Gire secador ou spin- lavagem secador
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um polímero etch

plasma provavelmente será formado após o uso de processamento de plasma etch com gases à base de fluorcarbono como hydrotrifluoride carbono e octafluoropropano . Estes gases de criar compostos insaturados no plasma , que são então transferidos para as bolachas de circuitos integrados . Estes devem ser removidos para que o processamento de plasma para continuar.
2 Tome cuidado extremo em torno de produtos químicos perigosos.

Plasma gravar removedor de polímero , conhecido como PRX- 127, é um composto químico formado por elementos de éter , sulfóxido e hidróxido , e é extremamente perigoso para respirar ou tocar. Recomenda-se que antes de tentar usar este produto , luvas, óculos e máscara deve ser usado . Um processo de imersão wet- banco é uma das maneiras mais seguras para lidar com este composto , e requer muito pouca interação física.
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Encha dois tanques de decapagem que são projetados especificamente para uma ama-de- banco processo com a solução PRX - 127 e levar a uma temperatura de 70 a 90 graus Celsius . Coloque as bolachas de circuitos afetados cuidadosamente em um dos tanques que usam luvas de protecção. As bolachas devem permanecer na solução por pelo menos cinco minutos, mas não mais do que 20 minutos para um efeito óptimo . Um método baseado em agitação mecânica ou sônico é recomendada durante o primeiro banho .
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Transfira as bolachas do primeiro tanque de remoção para o segundo uma vez que o ciclo de banho é completa, e mergulhe as bolachas novamente por cinco para 20 minutos sem agitação adicional . Este segundo banho removerá camadas existentes de polímero por baixo do resíduo sobre a superfície da bolacha .
5 Água desionizada é água completamente pura , sem outros minerais .

Retirar as bolachas a partir da solução PRX - 127 e transferi-las para um terceiro tanque cheio com VCS - 300 de lavagem , uma solução que é usada principalmente para a remoção da tinta . É completamente seguro de usar , pois é atóxico e não inflamável e não irá danificar as bolachas . As bolachas devem ficar nesta solução por dois a três minutos . Transfira as bolachas em uma solução final - água deionizada - dentro de um tanque de lavar por seis a oito ciclos e , em seguida, use um secador de rotação ou secador de spin- lavagem para remover todos os vestígios da solução. As bolachas devem ser completamente livre de polímeros , e agora são seguros para ser usado novamente para processamento gravado mais de plasma.