Gravura é a remoção seletiva de material. Há duas maneiras principais de gravam material. A gravação química é frequentemente utilizado para remover selectivamente um determinado material , deixando outras áreas da amostra intacta . Um exemplo é o uso de ácido fluorídrico para remover selectivamente o dióxido de silício . Uma segunda maneira de gravar é colocar a amostra em uma câmara de vácuo , em seguida, introduzir um gás , tal como o árgon . O árgon é então ionizado por um conjunto de eléctrodos e acelerado contra a amostra . Os iões bombardear a amostra e remover o material . Uma vez que todas as partes da amostra são bombardeadas , ele não é uma erosão selectiva , e todas as superfícies expostas terão material removido .
Redução da espessura do metal
Expondo qualquer metálico amostra de uma etch irá reduzir a espessura da amostra. Isso é muitas vezes o resultado desejado do etch. De modo a remover uma certa quantidade de material , o metal tem de ser exposto ao condicionamento para um valor fixo de tempo , por exemplo , um minuto. A espessura , então, precisa ser medido , a fim de obter uma taxa de corrosão , como 10 nanômetros por segundo.
Film rugosidade
Embora o objetivo com uma etch é reduzir a espessura do metal , este normalmente vem com um preço . A rugosidade da película metálica pode ser uma quantidade muito importante e é tipicamente medida com um dispositivo chamado um microscópio de força atómica . Geralmente, quanto mais tempo o material é gravado , maior será a rugosidade filme metálico torna.
Tamanho de grão
filmes metálicos consistem de muitos milhões de minúsculos grãos que são tipicamente em a gama de tamanhos de 5 a 100 nanómetros . Como películas metálicas são gravadas , o tamanho médio do tamanho do grão pode ser reduzido , mas esta é altamente dependente do tipo de corrosão , o tempo de corrosão e etch poder , se for um ião etch .