Como calcular o desalinhamento em anisotrópica Gravura

Identificar desalinhamento - ou incompatibilidade de células - em corrosão anisotrópica requer um método de cálculo chamado de " compensação de tempo. " Isto pode ser visto quando você está resolvendo um algoritmo usado para a simulação do processo de corrosão de silício em um EDP ​​, KOH ou solução TMAH . Quando o método Cellular autómatos ( CA ) , para a simulação de gravação é usado , o substrato é representado por células individuais que estão contidos no interior de uma estrutura de rede cristalina . Instruções
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Escreva a equação para determinar o número de etapas de corrosão . Isto é expresso como a N ( t ) = [ M /E ( s ) t ] t . Um valor padrão de 1 é usado para T. O valor de M é um múltiplo de E ( s) T. O valor de E ( s ) é [ 0,1] .
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Faça a equação para determinar a taxa de corrosão equivalente do material de superfície . Isto é expresso por : .

E ( s ) = H /N ( t ) = T M /( M /E ( s ) t ) t = E ( s )

Se M não é um múltiplo de E ( s) T, em seguida, uma incompatibilidade ocorrerá porque a gravação do próximo celular não começar imediatamente.
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Tome nota de " k ", o que é usado para identificar um passo etch. O próximo passo no processo de corrosão é rotulado como k + 1. Observe o equilíbrio tempo para uma etapa etch como Tb (k).
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Escreva a equação utilizada para calcular a compensação do tempo . Esta equação é expressa por :

M ( k ) > E ( s ) ( T + Tb ( k - 1 )

então

T ( k ) = T + Tb ( k - 1 )

M ( k +1 ) = M ( k ) - E ( s ) t ( k )

Tb ( k ) = 0

outra

T ( k ) = H ( k ) /E ( s)

M ( k +1) = 0

Tb ( k) = T - T ( k)

O resultado final dos resultados do método de compensação de tempo em que uma equação é expressa por:

E ( s ) = H ( k ) /t ( k ) = E ( s ) para uma etapa de corrosão k